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模块化压电控制器 ║E523TS系列压电陶瓷控制器采用专用运算放大电路，专为二维压电偏摆系统设计，可靠的电路优化及抗干扰设计，能够为压电陶瓷或纳米定位机构提供高稳定性、高分辨率的电压，并且有着优良的频率特性和极低的静态电压纹波。通过高性能的闭环控制电路给压电陶瓷或纳米定位机构中的传感器提供高精准、高稳定性和高可靠性的激励信号，检测并处理压电陶瓷或纳米定位机构中的传感器信号，将传感器信号通过内部的算法电路处理完成伺服（闭环）控制。研生科技的压电控制器可驱动各类压电陶瓷、控制各类纳米级精密定位平台、可控制研生公司各类精密定位产品和兼容控制各类国外精密定位产品等，模块化压电控制器具有多种性能配置可满足不同客户的需求。
◆ 台式与模块化，手动和外部输入控制；
◆ 1~18通道电压输出，输出电压为0V至+150V；
◆ 频率范围宽，峰值功率可达20W；
◆ 模拟P-I算法、陷波滤波器；
◆ 整体化设计便于设备间集成 ，可控制开/闭环。
| 型号 | E5_ _系列模块化压电控制器 |
| 通道数 | 1~18 通道 |
| 传感器类型 | SGS / CAP / LVDT |
| 伺服特性 | 模拟P-I 算法、陷波滤波器 |
| 控制方式（参见具体型号） | 计算机通信│外部模拟信号输入│手动旋钮│开/闭环 |
| 控制信号输入 | 0V~+10V |
| 输入阻抗 | 100KΩ ［±20%］ |
| 旋钮调节 | DC10圈 |
| 标称输出电压 | 0V~+120V |
| 最大输出电压 | -20V~+150V |
| 输出电压纹波 | 1.2 mVrms ［±20%］ |
| 输出电压分辨率 | 16Bit［满量程的1/30000］、24Bit［满量程的1/100000］ |
| 输出电压稳定性 | <0.1%F.S./8hours |
| 平均功率 | 7W ［±20%］ |
| 峰值功率 | 21W ［±20%］ |
| 平均电流 | 50mA ［±20%］ |
| 峰值电流 | 150mA ［±20%］ |
| 空载满幅值带宽 | 1KHz ［±20%］ |
| 输出保护 | 过流保护、温度保护、动态功率保护 |
| 电压增益 | 15倍 |
| 控制信号输入接口 | BNC |
| PZT高压输出接口 | LEMO |
| 传感信号输入接口 | LEMO |
| 传感信号输出接口 | LEMO |
| 传感信号输出电压 | 0V~+10V |
| 工作温度范围 | -10℃~50℃ |
| 温度保护 | 80℃ |
| 供电电源 | AC220V 50Hz ［±10%］ |
| 尺寸 | 42/63/84HP / 3U |
| 组合形式 | 可选配功率放大模块、位置传感模块、数字控制模块 |
| 注：模块化压电控制器具有多种性能配置可满足不同客户的应用需求。 | |
| 模块化控制器 | 模块组合 | ||||||||
| 功能模块 | E5系列 | 通道数 | 箱体尺寸 | 驱动 | 数量 | 传感 | 数量 | 数控 | 数量 |
| 驱动 | E513 | 3 | 42HP/3U | E501 | 1 | ||||
| E516 | 6 | 42HP/3U | E501 | 2 | |||||
| E519 | 9 | 42HP/3U | E501 | 3 | |||||
| E5112 | 12 | 63HP/3U | E501 | 4 | |||||
| E5115 | 15 | 84HP/3U | E501 | 5 | |||||
| E5118 | 18 | 84HP/3U | E501 | 6 | |||||
| 驱动+传感 | E523S | 3 | 42HP/3U | E501 | 1 | E502 | 1 | ||
| E526S | 6 | 42HP/3U | E501 | 2 | E502 | 2 | |||
| E529S | 9 | 63HP/3U | E501 | 3 | E502 | 3 | |||
| E5212S | 12 | 84HP/3U | E501 | 4 | E502 | 4 | |||
| 驱动+数控 | E523 | 3 | 42HP/3U | E501 | 1 | E503 | 1 | ||
| E526 | 6 | 63HP/3U | E501 | 2 | E503 | 1 | |||
| E529 | 9 | 84HP/3U | E501 | 3 | E503 | 1 | |||
| 驱动+传感+数控 | E533S | 3 | 42HP/3U | E501 | 1 | E502 | 1 | E503 | 1 |
| E536S | 6 | 63HP/3U | E501 | 2 | E502 | 2 | E503 | 1 | |
| E539S | 9 | 84HP/3U | E501 | 3 | E502 | 3 | E503 | 1 | |
| 单功能模块 | |||||||||
| 功能模块 | E50系列 | 通道数 | 模块尺寸 | ||||||
| 功率放大模块（驱动） | E501 | 3 | 14HP/3U | ||||||
| 位置传感模块（传感） | E502 | 3 | 7HP/3U | ||||||
| 数字控制模块（数控） | E503 | 3~9 | 21HP/3U | ||||||
| 注：技术参数详见各功能模块《技术参数表》 | |||||||||
